全自动电化学CV适用于评估和控制在半导体生产中的外延过程并且以被使用在多种不同的材料上, 例如:Silicon, Germanium, III-V including III-Nitrides.
CVP 21 的净室和模块化的系统设计结构使得本系统可以高效率,准确的测量半导体材料(结构,层)中的掺杂浓度分布.选用合适的电解液与材料接触,腐蚀,从而得到材料的掺杂浓度分布。电容值电压扫描和腐蚀过程由软件全自动控制
CVP21的系统特点
• 坚固可靠的模块化系统结构 .光学,电子和化学部分相对独立.
• 精确的测量电路模块
• 强力的控制软件,系统操作,使用简便
• 完善的售后服务体系
|
特别推荐硅太阳能电池研究单位使用 中国用户:作为中国授权代理商瞬渺科技在电化学领域有着丰富的使用和商务经验,在多个科研单位和高科技企业实验室有着良好应用。请联系我们安排参观考察。 产品完美结合我们在电化学方分布测试方面超过30年的经验和世界上最先进的电路系统。
全自动, 特别适用于新材料, 如氮化镓, 碳化硅材料等。 有效检测:
适用材料: CVP21应用范围宽,可以用于绝大多数的半导体材料。
样品大小:CVP21可用于不同形态的样品:多层结构的薄膜材料、基底没有限制(基底导电或绝缘均可)
载流子浓度测量范围:
深度解析度:
模块化系统结构:
全自动化系统:
•
精密的电路,电子系统 •
强力的软件 |
我们采用国际编码,如出现乱码请在搜索页再搜索一次
Email:BeiJing@rayscience.com saleschina@rayscience.com Tel: 上海021- 34635258/59/61/62 Fax: 021-34635260 瞬渺光电技术有限公司 Rayscience© 2009 沪ICP备07018253 号
| 旧版网站 | 光电论坛 | 博客 | 英文版 | 关于我们 |