准分子激光器

* 输出波长：157nm, 193nm, 222nm, 248nm, 308nm, 351nm.

* 单脉冲能量：0.3-360mJ。

* 最大重复频率：60-300Hz.

* 脉冲宽度： 2.5-27ns

* 每次充气后，气体的工作寿命： 最高可达10⁷ 此性能指标和所用工作气体有关。

* 闸流管质保期限： 2年 或 3x10⁸次工作脉冲。

* 特点：金属陶瓷腔结构，采用“柔和”的电晕预电离技术，更有效的腔内微颗粒过滤器。采用长寿命闸流管，工作更稳定可靠。具有优异的光斑均匀性和脉冲工作稳定性。低消耗 KrCl 222nm 输出。

    * 应用：光纤布拉格光栅制作，激光电离质谱,激光感生荧光光谱，光化学，光剥蚀和微加工，表面分析，半导体工业，

  时间迟豫研究，非线性光学，染料激光泵浦，脉冲激光沉积，近视眼治疗等光谱学，材料科学和医学应用