光谱薄膜测试仪 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement
应用领域: IC fab, MEMS, LED, solar cell, photonics, nano technologies.
设备特性: Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.
·广泛用于检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, photo resist, metal oxide, ITO.
·膜厚范围可自20nm 到5000nm. 可选各种光谱范围, 自UV 200nm到IR 1700nm.
·可具有高达12”直径自动 mapping 功能，软件功能强大.
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